作為行業領先的傳感器解決方案供應商，ifm易福門憑借創新技術與智能化應用，為半導體制造的各個環節提供了卓越的解決方案，助力企業優化生產流程、降低運營成本。
特別是在Sub-fab（工廠輔助設施）流程中，自動化技術的應用正逐漸成為提升效率與可持續發展的關鍵。今天，讓我們深入探討ifm如何通過創新解決方案，助力這一領域實現降本增效。
化學品輸送系統（CDS）的智能化升級
化學品在半導體生產的多個階段發揮著重要作用，包括沉積、光刻膠涂覆、光刻、蝕刻、清洗、薄膜沉積和拋光等。為確保化學品的純度，非接觸式液位測量技術被廣泛應用。ifm的電容式測量技術通過簡單的空罐調整和顯示指南，有效克服了管道或儲罐壁上氣泡或附著物帶來的挑戰。
KQ10系列連續性監控液位傳感器：該系列傳感器可安裝在非金屬儲罐外壁，實現料位監測。其配備的清晰可見的LED百分比顯示，使用戶能夠輕松掌握液位變化。此外，它還提供三個點料位監測位置，可靠區分空載、滿載和溢流狀態。
KI60系列電容式接近開關：該系列開關可在介質內或介質外運行，透過非金屬儲罐壁進行檢測，有效抑制沉積物的影響。結合IO-Link技術，將點液位檢測系統升級為實時液位狀態監測，為企業提供更精準的化學品管理。
設備健康管理：通過預測性維護提升設備可用性
在半導體制造過程中，真空系統是維持無菌環境的關鍵支持系統，干式真空泵的穩定運行至關重要。ifm通過振動監測、流量監測和溫度監測，為設備健康管理提供了全方位的解決方案：
基于振動監測的預測性維護
ifm振動傳感器（VSA）和振動分析模塊（VSE）可實時監測泵的健康狀況，防止增壓泵和干泵發生災難性故障。通過監測沖擊、疲勞、摩擦、嚴重程度和溫度等五個方面的機器問題，以及滾動軸承等特定部件，傳感器能夠提前檢測到即將發生的故障，減少計劃外停機時間，實現能源優化。
通過持續監測流量確保適當的冷卻效果
冷卻水用于散發泵內壓縮過程中產生的熱量。ifm的SU超聲波流量計采用無機械部件的設計，提供高精度測量，最大限度地減少壓降，確保冷卻工藝的高效運行。
通過連續測量溫度保持泵的功能
泵的外殼溫度升高通常表明摩擦增加，可能導致泵故障。ifm的TP + TS分體式測溫方案可對泵體表面溫度進行實時監測，避免因溫度異常導致的停機時間。
通過IO-Link技術，所有傳感器采集的數據可實時發送到更高層級的軟件系統，實現趨勢預測和分析，為企業提供實時的設備健康監測。
超純水系統的智能化管理
超純水是半導體生產中的關鍵資源，因為即使是微小的雜質也會導致重大的生產損失，導致數百小時的半導體晶圓生產無效。ifm為超純水系統的各個環節提供了智能化監測解決方案：
通過電導率測量確保水質
ifm的LDL電導率傳感器是一種高性價比的解決方案，能夠實時監測水中低至0.04μS/cm的電導率，確保供水系統的穩定和高效運行，指導凈化工藝的調整。
超純水出水管 | 產出流量監測
SU Puresonic超聲波流量傳感器采用超聲波技術，可精確測量高達1000L/min的超純水流量，并集成溫度測量功能，提供高度準確的在線測量過程，確保工藝的一致性和產品質量。
通過高準確度液位測量改善水的分配
ifm的LW非接觸式雷達液位傳感器采用80 GHz測量技術，可對高達10米的儲罐進行高精度測量（±2 mm），確保資源的可用性、防止干轉并優化水的利用率，避免因液位監測不準確導致的系統故障。
此外，ifm傳感器產品在晶圓加工、CMP工藝以及內物流都有廣泛應用。
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