潔凈室 又稱無塵室, 是一種特殊設(shè)計和建造的環(huán)境。主要目的是在制造、科學(xué)研究或其他需要高度潔凈和控制的應(yīng)用中，提供一個極低微粒和污染物水平的空氣環(huán)境。
例如：在半導(dǎo)體、光電面板的制造過程中，被加工件的導(dǎo)電性能會被環(huán)境中的金屬離子破壞掉，潔凈室可避免這種情況的發(fā)生。
潔凈室依據(jù)潔凈程度，可劃分為零級、十級、百級、千級、萬級乃至十萬級、三十萬級，其中數(shù)值越低，代表潔凈室的等級越高。
潔凈室的運營條件苛刻且復(fù)雜，不僅需將空氣中的微粒子、有害氣體、有機(jī)質(zhì)等污染物進(jìn)行排除，更需通過連續(xù)的控制手段將影響室內(nèi)環(huán)境的各項指標(biāo)維持在標(biāo)準(zhǔn)數(shù)值內(nèi)。
不同等級的潔凈室有不同的控制標(biāo)準(zhǔn)，以百級潔凈室為例：
影響潔凈室是否達(dá)到等級標(biāo)準(zhǔn)的因素很多，如空調(diào)系統(tǒng)、新風(fēng)系統(tǒng)的送風(fēng)溫濕度、送風(fēng)靜壓，新干盤管內(nèi)的回風(fēng)道溫度，冰水系統(tǒng)、熱水系統(tǒng)的水泵運行狀態(tài)，水管閥門的開度等，都會影響區(qū)域內(nèi)的溫度、濕度和壓差。
因此，一套可嚴(yán)密監(jiān)控環(huán)境指標(biāo)變化和控制相關(guān)設(shè)備的監(jiān)控系統(tǒng)不可或缺。
針對光電面板廠商新建工廠時的百級潔凈室運營要求，臺達(dá)結(jié)合在綠色廠務(wù)上的經(jīng)驗，為其提供從建設(shè)到實施的一套完美監(jiān)控所有公輔系統(tǒng)的解決方案，對潔凈室的安全運營提供了保障。
強(qiáng)勢入圍：工程能力與服務(wù)能力并重
鑒于百級潔凈室的高標(biāo)準(zhǔn)要求，在運營階段承載運營管理重任的監(jiān)控系統(tǒng)同樣有著高標(biāo)準(zhǔn)，必須從開始建設(shè)階段即著手介入，整體過程要充分結(jié)合制程工藝的需求特點，十分考驗施工單位的全面能力。
基于自身作為大型電子企業(yè)，有智能制造實踐的工程建設(shè)經(jīng)驗，臺達(dá)為此項目提供了從現(xiàn)場診斷、方案規(guī)劃、工程設(shè)計到項目執(zhí)行、保障服務(wù)等支持，滿足了業(yè)務(wù)方的建設(shè)進(jìn)度和工程質(zhì)量需求。
臺達(dá)解決方案
1、應(yīng)用全功能型工業(yè)組態(tài)軟件VTScada設(shè)計主監(jiān)控系統(tǒng)，精準(zhǔn)布局監(jiān)控點位，監(jiān)測潔凈室內(nèi)各項指標(biāo)數(shù)值，聯(lián)動上位管理系統(tǒng)，聯(lián)動冰水機(jī)組、冷卻水泵、熱水泵、空壓機(jī)、純水等系統(tǒng)，保證百級潔凈室呈現(xiàn)預(yù)想效果。
2、應(yīng)用工業(yè)以太網(wǎng)交換機(jī)構(gòu)建冗余網(wǎng)絡(luò)，將公輔系統(tǒng)各類設(shè)備整合鏈接到監(jiān)控系統(tǒng)中，確保數(shù)據(jù)信息的及時準(zhǔn)確。
3、應(yīng)用冗余型PLC AH500搭載變頻器DPD組成冗余控制系統(tǒng)，實現(xiàn)對空調(diào)系統(tǒng)、冷卻水塔等第三方系統(tǒng)的數(shù)據(jù)與流量調(diào)節(jié)；聯(lián)動主監(jiān)控系統(tǒng)，進(jìn)行精密控制，為潔凈室的調(diào)溫、調(diào)濕等提供精細(xì)化控制。
4、應(yīng)用智能電表，實時監(jiān)控電力消耗數(shù)據(jù)。
方案中，臺達(dá)冗余型PLC、工業(yè)以太網(wǎng)交換機(jī)和組態(tài)軟件，形成軟件、硬件、網(wǎng)絡(luò)三冗余控制，嚴(yán)格確保系統(tǒng)的穩(wěn)定運行。
效益實現(xiàn)：百級潔凈室良性運營
運行狀態(tài)實現(xiàn)嚴(yán)格管理
● 實現(xiàn)完整監(jiān)控
潔凈室內(nèi)溫濕度、氣壓等關(guān)鍵數(shù)據(jù)實時監(jiān)控。
● 聯(lián)動第三方設(shè)備
各類公輔系統(tǒng)及時聯(lián)動，統(tǒng)一管理，調(diào)節(jié)方便，故障處理及時。
● 精準(zhǔn)調(diào)節(jié)控制
監(jiān)控系統(tǒng)根據(jù)潔凈室內(nèi)各項指標(biāo)數(shù)據(jù)，對相關(guān)公輔設(shè)備進(jìn)行開度調(diào)節(jié)，使室內(nèi)的溫濕度變化、氣壓壓差、供水量以及灰塵含有量高于百級潔凈室要求。
以溫度變化為例，當(dāng)監(jiān)控系統(tǒng)檢測到區(qū)域內(nèi)溫度變化達(dá)到臨界值，即可根據(jù)外界溫濕度及空調(diào)、空壓、熱水等系統(tǒng)的輸送量數(shù)值，聯(lián)動PLC調(diào)節(jié)相應(yīng)設(shè)備的開度，保持室內(nèi)溫度始終穩(wěn)定于預(yù)定值。
數(shù)據(jù)實時監(jiān)測、便捷呈現(xiàn)
● 運行狀況快速查詢
可查詢各區(qū)域傳感器組中溫度、濕度、水壓力等環(huán)境條件的最大值、最小值、平均值及畫面。
● 報表實施導(dǎo)出
可自動檢測時區(qū)，根據(jù)時間設(shè)定觸發(fā)自動匯出報表，輸出至屏幕、工作表、數(shù)據(jù)庫或電子郵件。
● 能源數(shù)據(jù)監(jiān)測呈現(xiàn)
統(tǒng)計能源數(shù)據(jù)，呈現(xiàn)歷史數(shù)據(jù)對比、碳排放統(tǒng)計、能源趨勢分析、能源分布與排名、不同能源的折算對比圖表等。
● 故障報警
故障問題通過閃爍圖示，以及置短信、電子郵件、呼叫器和語音留言等方式及時通知操作人員。
臺達(dá)百級潔凈室解決方案，以“數(shù)字化”為鏈條，通過完善的監(jiān)控體系，實現(xiàn)對百級潔凈室的運營管理，助力用戶穩(wěn)定生產(chǎn)，達(dá)成良率目標(biāo)。
