Mercury系列光柵是MicroE公司的主導(dǎo)產(chǎn)品,其主要特點(diǎn)是微型尺寸(8毫米厚,重量5克),超高速度(高達(dá)每秒7.2米的運(yùn)行速度),高分辨率(可達(dá)5納米),性價(jià)比高。
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