Renishaw公司是世界領(lǐng)先的計(jì)量解決方案供應(yīng)商，致力于提高制造業(yè)和科研的生產(chǎn)力。其中的激光干涉儀廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密機(jī)械的各種幾何精度的測(cè)量，動(dòng)態(tài)特性測(cè)量和分析。它也可作為各種精密機(jī)械的長(zhǎng)度基準(zhǔn)器。

Renishaw光柵提供了多種光柵測(cè)量系統(tǒng)，包括：高速直線光柵、平面光柵、圓光柵。RENISHAW光柵基于非接觸光學(xué)原理，具有很高的精度和分辨率，同時(shí)不受灰塵、輕微油污和劃痕的影響，使得系統(tǒng)運(yùn)行可靠，無(wú)需過(guò)多維護(hù)。RENISHAW光柵測(cè)量系統(tǒng)可以應(yīng)用在三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、電子設(shè)備、掃描等許多領(lǐng)域。

Renishaw提供品種繁多的緊湊型光柵，以滿足不同行業(yè)的需求。雷尼紹光柵系統(tǒng)的成功開發(fā)是基于其創(chuàng)新的非接觸式光學(xué)結(jié)構(gòu),這種設(shè)計(jì)在實(shí)現(xiàn)精確測(cè)量、高分辨率和零機(jī)械磁滯的同時(shí)，有很強(qiáng)的抗污能力，如灰塵、輕度油漬和劃痕而不影響信號(hào)的完整性。這些都確保用戶的機(jī)器運(yùn)行可靠而不需過(guò)多的維護(hù)。不僅如此，Renishaw的光柵系統(tǒng)還以其易于安裝響譽(yù)業(yè)界。鍍金的光柵尺可被靈活地剪至所需長(zhǎng)度以適應(yīng)不同的軸長(zhǎng)（最長(zhǎng)可達(dá)70米），其背面自粘的特別設(shè)計(jì)使得安裝時(shí)無(wú)需鉆孔和螺釘壓緊，從而節(jié)省了時(shí)間和成本。所有讀數(shù)頭和接口都有獲得專利的LED安裝狀態(tài)指示燈監(jiān)控，而無(wú)需示波器及其它復(fù)雜的安裝監(jiān)控裝置，這樣也節(jié)省了時(shí)間和成本 Renishaw光柵測(cè)量系統(tǒng)可以應(yīng)用在三坐標(biāo)測(cè)量、計(jì)量檢測(cè)、裝配測(cè)試、運(yùn)動(dòng)控制、電子設(shè)備、半導(dǎo)體制造和測(cè)量、醫(yī)療設(shè)備、印刷掃描、儀器設(shè)備、超高精度機(jī)器和裝置等高精度高要求領(lǐng)域。

一、RG2 直線光柵系列 

  

20 um直線光柵 

   20 um 柵距的 RG2 系列光柵測(cè)量性能優(yōu)異、可靠性強(qiáng)、易于使用，廣泛應(yīng)用于各種測(cè)量場(chǎng)合。分辨率從 5 μm 到 10 nm，速度可達(dá) 8 m/s。 

技術(shù)指標(biāo) 

    RG2 是開放式的非接觸光學(xué)系統(tǒng)，能夠消除摩擦和磨損，可保證高速、高分辨率的可靠運(yùn)動(dòng)。即使在車間環(huán)境使用，其獨(dú)創(chuàng)的光學(xué)濾波系統(tǒng)也能確保極好的信號(hào)穩(wěn)定性。

所有類型的讀數(shù)頭均具有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的模擬或數(shù)字信號(hào)輸出：模擬信號(hào)為 20 μm 的周期，數(shù)字信號(hào)的分辨率從 5 μm 到 50 nm。所有系統(tǒng)均配有獨(dú)創(chuàng)的內(nèi)置安裝狀態(tài)指示燈，如果安裝正確則綠燈亮。所有型號(hào)的讀數(shù)頭都有參考零位和/或限位開關(guān)。參考零位提供可重復(fù)的起始位置，而限位開關(guān)則指示行程的終點(diǎn)。RGH22 讀數(shù)頭也有雙限位開關(guān)選項(xiàng)，在行程的兩端提供各自的信號(hào)輸出。 

 

    紅外發(fā)光二極管把光發(fā)射到光柵尺的刻劃面，然后通過(guò)透明的指示光柵刻劃面將光反射到讀數(shù)頭中。這樣就在讀數(shù)頭的檢測(cè)面產(chǎn)生了正弦干擾條紋。 該光學(xué)系統(tǒng)采用對(duì) 80 條

以上的條紋進(jìn)行均分的技術(shù)，有效濾掉了與光柵尺刻劃周期不匹配的信號(hào)。即使在光柵尺

受到污染或輕微損壞的情況下，也能確保信號(hào)的穩(wěn)定性。

 

    熱膨脹特性經(jīng)常是決定整體測(cè)量精度的重要因素。RGS20 光柵尺在端部緊固，因此迫使其膨脹特性與基體材料的膨脹特性一致，無(wú)須對(duì)不同的膨脹系數(shù)進(jìn)行補(bǔ)償。

 

    獨(dú)特的光學(xué)設(shè)計(jì)確保了很小的短周期誤差，周期誤差（即細(xì)分誤差）通常小于 ±0.15 μm。線性誤差特性為每 60 毫米 ±0.75 μm，或任意每米 ±3 μm。 

 

    RGS20 鍍金鋼帶光柵尺表面涂漆，便于使用和維護(hù)。背面自帶不干膠，安裝簡(jiǎn)單快捷；對(duì)于各種型號(hào)的讀數(shù)頭，有不同的安裝工具可供選擇。光柵尺成卷供貨，用戶可根據(jù)需要任意裁剪，便于庫(kù)存管理。

 

   借助專用安裝工具，通過(guò)機(jī)器軸運(yùn)動(dòng)保證精確準(zhǔn)直，可快速安裝光柵尺。只要把參考零位、限位開關(guān)和端壓塊粘到相應(yīng)的位置，就可完成安裝。

 產(chǎn)品特點(diǎn) ：

  

1、高速、可靠的非接觸式特性適用于現(xiàn)今工廠自動(dòng)化生產(chǎn)對(duì)高速度的要求。

2 、零磨擦和零機(jī)械磨損。

3、開放式光學(xué)系統(tǒng)可抵御大多數(shù)自動(dòng)化生產(chǎn)環(huán)境中的污染。

4 、成卷供貨的光柵尺可被方便地“剪至所需”（最長(zhǎng)可達(dá)70m），不需儲(chǔ)備不同長(zhǎng)度的光柵尺。

5 、獲得專利的光柵尺安裝器，有助于實(shí)現(xiàn)快速簡(jiǎn)便的安裝。

6 、內(nèi)置式安裝指示燈：綠燈亮?xí)r表示安裝正確；無(wú)需示波器或?qū)ｉT的安裝裝置。

7 、雙限位開關(guān)具有獨(dú)一無(wú)二的指示軸向運(yùn)動(dòng)停止點(diǎn)的功能。

8、獨(dú)一無(wú)二的光柵尺與基體的熱匹配。

9 、結(jié)構(gòu)緊湊的讀數(shù)頭具有集成的內(nèi)置細(xì)分電路，有系列模擬和數(shù)字信號(hào)輸出，分辨率從5 μ m 到10nm 。

    RG2 讀數(shù)頭采用的創(chuàng)新技術(shù)集成了其靈活、用戶友好的特點(diǎn)，同時(shí)具有優(yōu)異的測(cè)量性能。

世界領(lǐng)先的坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的制造廠商都信任RG2。在他們的很多機(jī)器上都能看到令人熟悉的金

黃色條狀光柵尺。 

型號(hào)：

RGH22 

1緊湊而堅(jiān)固的外殼

2 工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)數(shù)字和模擬信號(hào)輸出

3 內(nèi)置細(xì)分卡和安裝LED指示燈

4 分辨率從5μm，1μm，0.5μm，0.1μm 到50nm 

5 參考零位和雙限位開關(guān)傳感器

6 高柔性雙屏蔽12 芯電纜或帶狀電纜可選

7 三態(tài)低電平報(bào)警信號(hào)或全報(bào)警輸出

8 16.0mm×44.0mm×27.0mm (H×L×W) 

9 也可提供5μm，1μm，0.5μm (RGH26)與Mitsubishi Melservo.-J2-Super 兼容的產(chǎn)品

RGH24 

1 小巧而堅(jiān)固外殼

2 工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)數(shù)字和模擬信號(hào)輸出

3 內(nèi)置細(xì)分卡和安裝LED指示燈

4分辨率從5μm，1μm，0.5μm，0.2μm，0.1μm 到50nm不等

5 參考零位或單限位開關(guān)傳感器

6 高柔性雙屏蔽8芯電纜

7 三態(tài)低電平報(bào)警信號(hào)輸出

8 14.8mm×36.0mm×13.5mm (H×L×W) 

9可提供JST連接器

RGH25 

1超小而堅(jiān)固外殼

2 工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)數(shù)字和模擬信號(hào)輸出

3外置細(xì)分卡和安裝LED指示燈

4 分辨率從5μm，1μm，0.5μm，0.2μm，0.1μm，50nm，20nm和10nm

5 參考零位或單限位開關(guān)傳感器

6 高柔性雙屏蔽8芯電纜

7 三態(tài)低電平報(bào)警信號(hào)輸出

8 10.5mm×36.0mm×13.5mm (H×L×W) 

二、RG4 直線光柵系列 

  

40 μm 直線光柵

分辨率從 10 μm 到 0.1 μm 的鋼帶和玻璃光柵尺 

  

技術(shù)指標(biāo) 

    RG4 系統(tǒng)采用的光學(xué)技術(shù)與 RG2 開放式非接觸光柵系統(tǒng)類似，保留了 RG2 的優(yōu)點(diǎn)，但也有明顯的區(qū)別，增添了一些新的優(yōu)點(diǎn)。 

 

    40 μm 柵距的 RG4 系統(tǒng)具有速度更快、安裝公差更大的特點(diǎn)，入射光的方向使用戶可選用各種類型的光柵尺。

 

    RG4 系列產(chǎn)品有兩種讀數(shù)頭。RGH34 是結(jié)構(gòu)緊湊的芯片形讀數(shù)頭，通過(guò)扁形軟性電纜連接到一個(gè)小的 PCB 接口。可輸出工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的模擬信號(hào)及分辨率從 10 μm 到 0.2 μm 的數(shù)字信號(hào)。系統(tǒng)中要么包含一個(gè)參考零位，要么包含一個(gè)限位傳感器，由Renishaw標(biāo)準(zhǔn)勵(lì)磁塊觸發(fā)。

RGH41 和 RGH40 讀數(shù)頭為完全封裝型號(hào)，直接提供模擬信號(hào)輸出或分辨率從 10 μm 到 0.1 μm 的數(shù)字輸出信號(hào)。RGH41 讀數(shù)頭用于 RGS40-S 鍍金鋼帶光柵尺，而 RGH40 讀數(shù)頭專用于 RGS40-G 玻璃光柵尺。標(biāo)準(zhǔn)配置還包括磁性參考零位和雙限位輸出。以上兩種讀數(shù)頭都配有Renishaw獨(dú)創(chuàng)的安裝狀態(tài)指示燈。 

 

    RG4 使用的光學(xué)原理基本與 RG2 相同，不同之處在于，紅外發(fā)光二極管發(fā)出的光是從與光柵尺刻劃面成 90° 角反射到柵尺方向，而不是平行反射。

   指示光柵與 RG2 位置相同，在檢測(cè)面產(chǎn)生正弦干擾條紋。 

 

RG4 系列光柵的工作原理允許使用各種光柵尺，如：

1）RGS40-S 鍍金鋼帶光柵尺，表面涂漆，背面帶不干膠。可使用各種專用安裝工具，安裝簡(jiǎn)單。

2）傳統(tǒng)的鍍鉻玻璃光柵尺也可用于要求長(zhǎng)度較短、無(wú)需標(biāo)定精度的應(yīng)用場(chǎng)合。Renishaw RGS40-G 光柵尺以確定長(zhǎng)度提供，最長(zhǎng)可達(dá) 1 m。

3）用戶自制的反射式刻劃直線光柵和鋼基體的柱面光柵也可使用各種 RG4 讀數(shù)頭。 

 

    RG4 讀數(shù)頭繼承了 RG2 短周期誤差小的優(yōu)點(diǎn)，典型周期誤差為 ±0.25 μm。RGS40-S 光柵尺的線性誤差特性僅為每 60 毫米 ±1 μm，任意每米小于 ±3 μm。

產(chǎn)品特點(diǎn)： 

  

1 開放式光學(xué)系統(tǒng)可抵御大多數(shù)自動(dòng)化生產(chǎn)環(huán)境中的污染

2 高速、可靠的非接觸式特性適用于絕大多數(shù)工廠自動(dòng)化生產(chǎn)對(duì)高速度的要求

3 零磨擦和零機(jī)械磨損

4 寬松的安裝公差使得安裝快速、簡(jiǎn)便并且可靠

5 LED 安裝指示燈可簡(jiǎn)化安裝

6 內(nèi)置式雙限位開關(guān)提供行程終點(diǎn)指示

7 讀數(shù)頭及組件有系列輸出供選

8 成卷供貨的光柵尺可被方便地“ 剪至所需” 

9 模擬信號(hào)具備優(yōu)越的Lissajous 穩(wěn)定性

10 某些RG4 讀數(shù)頭還能應(yīng)用于刻劃或是鍍鉻的玻璃光柵上 

型號(hào)：

RGS40

1 讀RGS40-S金屬尺

2 緊湊而堅(jiān)固的外殼

3 工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)數(shù)字和模擬信號(hào)輸出

4 內(nèi)置細(xì)分電路和安裝狀態(tài)指示燈 

5 分辨率從10μm，5μm，2μm 到 1μm 

6 參考零位和雙限位開關(guān)傳感器

7 高柔性雙屏蔽12 芯電纜

8 三態(tài)低電平報(bào)警信號(hào)或全報(bào)警輸出

9 17.0mm×44.0mm×27.0mm (H×L×W)

RGH34 

1 讀RGS40-S金屬尺

2 與40μm RESR圓光柵尺兼容

3 極小緊湊型讀數(shù)頭單元及PCB式細(xì)分電路

4 質(zhì)量<2g

5 工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)數(shù)字和模擬信號(hào)輸出

6 分辨率從10μm，5μm，2μm，1μm，0.4μm 到 0.2μm

7 FPC電纜

8 參考零位或單限位開關(guān)傳感器

9 三態(tài)低電平報(bào)警信號(hào)或全報(bào)警輸出                               

10 9.50mm×15.0mm×15.0mm (H×L×W) 僅讀數(shù)頭尺寸

三、RESR 圓光柵系列 英國(guó)RENISHAW光柵Renishaw的高精度圓光柵系統(tǒng)有多種規(guī)格的直徑和刻線數(shù)供選擇，與標(biāo)準(zhǔn)控制器兼容。它實(shí)際上是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔、在柱面上直接刻線的不銹鋼圓光柵；提供標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)和低轉(zhuǎn)動(dòng)慣量的設(shè)計(jì)，適用范圍廣泛。 

 

RESR 圓光柵具有內(nèi)徑大的特點(diǎn)，因此體積輕薄，轉(zhuǎn)動(dòng)慣量非常低。這意味著無(wú)論何時(shí)安裝，回轉(zhuǎn)軸定位都能達(dá)到最小扭矩和最大速度。 

 

另外，由于內(nèi)徑大，電纜和氣路安裝更為容易。 

 

雖然橫截面很薄，但絲毫不會(huì)影響測(cè)量精度。采用Renishaw具有專利技術(shù)的錐面安裝方式，包括錐軸安裝面公差在內(nèi)的所有安裝公差均可調(diào)整到最佳狀態(tài)，并可通過(guò)簡(jiǎn)單有效的精細(xì)調(diào)整來(lái)糾正跳動(dòng)或橢圓度。

技術(shù)指標(biāo)

許多應(yīng)用都取決于旋轉(zhuǎn)精度，RENISHAW的圓光柵系列提供了很好的解決方案。其系統(tǒng)精度可達(dá)0.7角秒，最高分辨率可達(dá)0.01角秒，重復(fù)精度可達(dá)0.01角秒，速度超過(guò)3000rpm。獨(dú)特的錐面安裝方式確保安裝快捷，精度高。外徑從52mm到413mm可供選擇。大內(nèi)徑，低慣量最大限度地滿足了不同用戶的要求。

 注：光柵尺柵矩為 20 um. 相關(guān)計(jì)算公式： 每轉(zhuǎn)線數(shù)=π*D/(20um/1000)*細(xì)分倍數(shù) 角分辨率=360*60*60/每轉(zhuǎn)脈沖數(shù) 

型號(hào)：

RGH20 

1 與20μm 柵距RESR 圓光柵兼容

2 光學(xué)濾波系統(tǒng)提供優(yōu)異的抗污跡能力

3 小巧堅(jiān)固的外殼

4 工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)字和模擬信號(hào)輸出

5 內(nèi)置細(xì)分卡和安裝LED 指示燈

6 分辨率從5μm ，1μm，0.5 μm ， 0.1μm，50nm，20nm 到10nm 

7 參考零位或單限位開關(guān)傳感器

8 高柔性雙屏蔽8 芯電纜

9 三態(tài)低電平報(bào)警信號(hào)或全報(bào)警輸出

10 14.8mm（或10.5 mm ）×36. 0mm×13.5mm (H×L×W) 

11 可選高真空兼容型