Canon-machinery I-1230 步進式光刻機
用于存儲器布線成膜(Memory Wiring Deposition)的大規模量產化PVD設備(12“硅片)。
I-1230用于半導體存儲器互連行業的傳導金屬加工處理。我們獨創的Caera陰極技術在反應性放電或者在高應力材料處理情況下都能保證良好的均一性及極少量particle的產生。擁有這些功能，I-1230能夠實現高成品率及高生產率，可大大降低生產成本。
AELA陰極：通過in-situ每個制程工藝(RECIPE)的調整，可以方便的對陰極磁鐵位置（3軸）的可變均一性、清潔做到最優化調節處理。
生產量： 80wfs/H 達到世界最高水準
運轉率：>90% 半導體存儲器生產線（故障率<1%）
聯系人：黃文俊
地址：深圳市龍華新區人民南路萊蒙水榭春天7棟鳳凰苑24C/24D
郵編：518131
電話：13928415151
傳真：0755-83176509
公司網址：http://www.itestworld.com
掃描此二維碼即可訪問該空間手機版
