Accretech/TSK APM 90A 晶圓檢測儀
發布時間：2017/6/30 17:24:27 修改時間：2017/6/30 17:24:27 瀏覽次數：1823

Accretech/TSK APM 90A 晶圓檢測儀

DESCRIPTION:
Automatic Wafer Prober

Standard Configuration:
1. Single Cassette
2. Hot Chuck
3. GPIB Interface
4. Clean pad stage with clean pad
5. Nickel chuck for ambient~hot temperature

We can also add or replace below options at additional cost:
1. CN1 & CN2 external cable
2. APM90A OCR
3. Square probe card holder
4. INKER
5. Golden Chuck
6. Hinge

Accuracy		within 5 Microns / 0.2 mil (± 2.5 microns)
Wafer Size		4,5, 6, and 8 inch
Maximum X/Y Speed		200 mm (8″) / sec.

Z Stage/Chuck
Range		1.36″
Speed		35 ms/0.020″ stroke
Rotation		± 5o

Loader (wafer handler)
Cassette Capacity		1 standard; 2nd cassette optional
Wafer handling		robotic arm
Fine Alignment		CCD image processing
Hard Disk Drive		100 Mb
Floppy Disk Drive		3.5″; 1 standard
Display		10.4″ Color LCD
Power Consumption		Approx 1.5 KVA

Facilities Required
Air		60 PSI @ 3 cfm.
Vacuum		25 in/hg.
Dimensions		44″w x 44″ D x 35.2″ H
Weight		1,650 lbs.

企業介紹

深圳市東測科技有限公司公司現貨銷售、租賃惠普（安捷倫）、泰克、安立、愛得萬、橫河、安騰、力科、馬可尼（IFR）、R&S、Exfo等品牌之眼圖儀、光譜分析儀、光時域反射儀(OTDR)、可調激光源、光功率計、光衰減器、光纖熔接機等光纖通信儀… 更多>>

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張鴻益 在2022/4/29 14:07:00留言
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