Canon-machinery FPA-5550iZ 步進(jìn)式光刻機(jī)

產(chǎn)品總括

佳能在2001年成功推出FPA-5500之后，在此平臺(tái)上又開發(fā)了FPA-5550iZ高速i線步進(jìn)式光刻機(jī)。本產(chǎn)品完全滿足超大規(guī)模內(nèi)存生產(chǎn)商對(duì)生產(chǎn)設(shè)備的高生產(chǎn)率及高運(yùn)行穩(wěn)定性的要求。

產(chǎn)品特征

通過采用高加速性能的工作臺(tái)，縮短硅片的曝光時(shí)間，優(yōu)化硅片的傳送時(shí)點(diǎn)使FPA-5550iZ的生產(chǎn)能力相對(duì)于其前任產(chǎn)品-FPA-5510iZ，有了50%的大幅提高，而且對(duì)準(zhǔn)精度也得到了改善。?FPA-5550iZ集FPA-5500系列產(chǎn)品之大成，為超大規(guī)模300mm硅片制造商提供了高生產(chǎn)能力的優(yōu)良產(chǎn)品。

為了滿足客戶的要求，F(xiàn)PA-5550iZ產(chǎn)品還提供了SMIF選項(xiàng)。SMIF的應(yīng)用，使掩模板裝入及退出實(shí)現(xiàn)完全自動(dòng)化，極大的提高了生產(chǎn)效率。同時(shí)也可滿足小生產(chǎn)線的靈活的手動(dòng)要求。