Canon-machinery FPA-5510iZ 步進(jìn)式光刻機(jī)對(duì)應(yīng)粗糙層(Rough Layer) 的高生產(chǎn)效率i-線曝光裝置。
對(duì)應(yīng)高生產(chǎn)效率的光學(xué)系統(tǒng)
已實(shí)現(xiàn)高生產(chǎn)效率的高照度照明系統(tǒng)的進(jìn)一步改良
采用高亮度水銀燈
采用已擁有業(yè)績(jī)的FPA-5000系列工作臺(tái)(platform)
采用可靠性高的FPA-5500系列工作臺(tái)(platform) 確保裝置穩(wěn)定運(yùn)行
實(shí)現(xiàn)了高精度對(duì)位性能
降低芯片因受曝光熱產(chǎn)生變形的對(duì)策
平臺(tái)空間氣流控制的最佳化
投片率的進(jìn)一步提高
采用已實(shí)現(xiàn)高生產(chǎn)效率的新型芯片臺(tái)
聯(lián)系人:黃文俊
地址:深圳市龍華新區(qū)人民南路萊蒙水榭春天7棟鳳凰苑24C/24D
郵編:518131
電話:13928415151
傳真:0755-83176509
公司網(wǎng)址:http://www.itestworld.com
掃描此二維碼即可訪問該空間手機(jī)版