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摘要: TONiC是雷尼紹推出的超小型非接觸式增量式光柵系統,速度可達10 m/s,與Ti接口配套使用時,在線性和旋轉應用中分辨率達1 nm。由于安裝公差大,并且只需按下按鈕即可進行校準,
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