臺灣某全球知名半導體公司擁有大量專業(yè)IC制造工廠，其中包含了許多加工工藝。該公司的產(chǎn)品主要包含各種各樣的IC芯片，如0.18mm邏輯芯片、混合信號芯片、模擬信號芯片、高電壓低功耗芯片、COMS RF芯片、Flash、嵌入式存儲器以及雙極性COMS DMOS (BCD) IC芯片。其中一個工廠每月8英寸晶片的產(chǎn)量約為55,000件。

半導體生產(chǎn)過程采用了大量化學物質(zhì)和氣體，其中不乏有毒物質(zhì)。因此，這些氣體必須得到有效的監(jiān)控，以確保工作人員和周圍居民的生命安全。而收集的監(jiān)測數(shù)據(jù)用于向當?shù)卣O(jiān)測機構(gòu)的環(huán)境報告當中。公司需要搭建一個可靠的網(wǎng)絡(luò)來采集監(jiān)測數(shù)據(jù)并將這些數(shù)據(jù)傳輸?shù)焦S的監(jiān)控中心。用于氣體監(jiān)測的通信網(wǎng)絡(luò)必須具備可靠、無間斷的操作及斷線之后快速恢復(fù)通信的能力。

系統(tǒng)描述

半導體生產(chǎn)廠采用了一系列監(jiān)測儀來檢測有毒氣體。如氨氣、氧化劑、氫化物、酸性氣體、氰化物、硫化物以及PFC。監(jiān)測系統(tǒng)由CM4氣體監(jiān)控器、16氣體監(jiān)控器（ 由4組CM4組成）以及搜集溫度和氣壓參數(shù)的柜體組成。氣體監(jiān)控器使用數(shù)字信號和特殊信號在極短的時間內(nèi)偵測出滲漏。由于在指定的區(qū)域內(nèi)需要偵測不同類型的氣體，因此需要設(shè)備有不同的監(jiān)測等級。而監(jiān)測點遍布工廠的各個角落，這就意味著在惡劣的環(huán)境里網(wǎng)絡(luò)傳輸?shù)木嚯x、速度、可靠性和安全性顯得尤為重要。

該半導體工廠監(jiān)控系統(tǒng)的搭建選用了Moxa的產(chǎn)品：UC-7408嵌入式計算機用于數(shù)據(jù)采集并與SCADA系統(tǒng)進行通信；EDS-508-MM-SC 8端口網(wǎng)管型交換機用于組建光纖骨干網(wǎng)并提供設(shè)備之間通信。EDS-508系列交換機通過了Class 1，Div.2危險區(qū)域（包括易燃、易爆氣體、液體和蒸汽）認證，適用于苛刻的工廠環(huán)境當中。EDS-508系列交換機組建的Turbo Ring具備易于升級、穩(wěn)定性高、永不斷線、高速、恢復(fù)時間短以及長距離傳輸?shù)奶攸c。如今，整個工廠的監(jiān)測數(shù)據(jù)都可以同時被傳輸?shù)奖O(jiān)控中心，監(jiān)控數(shù)據(jù)采集更加可靠和有效。