潔凈室 又稱無塵室, 是一種特殊設計和建造的環境。主要目的是在制造、科學研究或其他需要高度潔凈和控制的應用中，提供一個極低微粒和污染物水平的空氣環境。
例如：在半導體、光電面板的制造過程中，被加工件的導電性能會被環境中的金屬離子破壞掉，潔凈室可避免這種情況的發生。
潔凈室依據潔凈程度，可劃分為零級、十級、百級、千級、萬級乃至十萬級、三十萬級，其中數值越低，代表潔凈室的等級越高。
潔凈室的運營條件苛刻且復雜，不僅需將空氣中的微粒子、有害氣體、有機質等污染物進行排除，更需通過連續的控制手段將影響室內環境的各項指標維持在標準數值內。
不同等級的潔凈室有不同的控制標準，以百級潔凈室為例：
影響潔凈室是否達到等級標準的因素很多，如空調系統、新風系統的送風溫濕度、送風靜壓，新干盤管內的回風道溫度，冰水系統、熱水系統的水泵運行狀態，水管閥門的開度等，都會影響區域內的溫度、濕度和壓差。
因此，一套可嚴密監控環境指標變化和控制相關設備的監控系統不可或缺。
針對光電面板廠商新建工廠時的百級潔凈室運營要求，臺達結合在綠色廠務上的經驗，為其提供從建設到實施的一套完美監控所有公輔系統的解決方案，對潔凈室的安全運營提供了保障。
強勢入圍：工程能力與服務能力并重
鑒于百級潔凈室的高標準要求，在運營階段承載運營管理重任的監控系統同樣有著高標準，必須從開始建設階段即著手介入，整體過程要充分結合制程工藝的需求特點，十分考驗施工單位的全面能力。
基于自身作為大型電子企業，有智能制造實踐的工程建設經驗，臺達為此項目提供了從現場診斷、方案規劃、工程設計到項目執行、保障服務等支持，滿足了業務方的建設進度和工程質量需求。
臺達解決方案
1、應用全功能型工業組態軟件VTScada設計主監控系統，精準布局監控點位，監測潔凈室內各項指標數值，聯動上位管理系統，聯動冰水機組、冷卻水泵、熱水泵、空壓機、純水等系統，保證百級潔凈室呈現預想效果。
2、應用工業以太網交換機構建冗余網絡，將公輔系統各類設備整合鏈接到監控系統中，確保數據信息的及時準確。
3、應用冗余型PLC AH500搭載變頻器DPD組成冗余控制系統，實現對空調系統、冷卻水塔等第三方系統的數據與流量調節；聯動主監控系統，進行精密控制，為潔凈室的調溫、調濕等提供精細化控制。
4、應用智能電表，實時監控電力消耗數據。
方案中，臺達冗余型PLC、工業以太網交換機和組態軟件，形成軟件、硬件、網絡三冗余控制，嚴格確保系統的穩定運行。
效益實現：百級潔凈室良性運營
運行狀態實現嚴格管理
● 實現完整監控
潔凈室內溫濕度、氣壓等關鍵數據實時監控。
● 聯動第三方設備
各類公輔系統及時聯動，統一管理，調節方便，故障處理及時。
● 精準調節控制
監控系統根據潔凈室內各項指標數據，對相關公輔設備進行開度調節，使室內的溫濕度變化、氣壓壓差、供水量以及灰塵含有量高于百級潔凈室要求。
以溫度變化為例，當監控系統檢測到區域內溫度變化達到臨界值，即可根據外界溫濕度及空調、空壓、熱水等系統的輸送量數值，聯動PLC調節相應設備的開度，保持室內溫度始終穩定于預定值。
數據實時監測、便捷呈現
● 運行狀況快速查詢
可查詢各區域傳感器組中溫度、濕度、水壓力等環境條件的最大值、最小值、平均值及畫面。
● 報表實施導出
可自動檢測時區，根據時間設定觸發自動匯出報表，輸出至屏幕、工作表、數據庫或電子郵件。
● 能源數據監測呈現
統計能源數據，呈現歷史數據對比、碳排放統計、能源趨勢分析、能源分布與排名、不同能源的折算對比圖表等。
● 故障報警
故障問題通過閃爍圖示，以及置短信、電子郵件、呼叫器和語音留言等方式及時通知操作人員。
臺達百級潔凈室解決方案，以“數字化”為鏈條，通過完善的監控體系，實現對百級潔凈室的運營管理，助力用戶穩定生產，達成良率目標。