隨著半導(dǎo)體行業(yè)的不斷創(chuàng)新， ifm為智能半導(dǎo)體制造提供了一系列的創(chuàng)新解決方案，旨在提升質(zhì)量、提高產(chǎn)量，并實(shí)現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展目標(biāo)。
今天先聊一下ifm半導(dǎo)體制造中的Sub-fab（工廠輔助設(shè)施）流程如何從自動(dòng)化中獲益，尤其是工廠如何通過實(shí)時(shí)監(jiān)控實(shí)現(xiàn)降本增效。
化學(xué)品輸送系統(tǒng)（CDS）
化學(xué)品被廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的多個(gè)階段，如沉積、光刻膠涂覆、光刻、蝕刻、清洗、薄膜沉積和拋光。為確保化學(xué)品的純度，非接觸式液位測(cè)量被廣泛用于檢測(cè)化學(xué)品液位。電容式測(cè)量技術(shù)只需進(jìn)行簡(jiǎn)單的空罐調(diào)整并輔以實(shí)現(xiàn)理想設(shè)置的顯示指南，就能克服管道或儲(chǔ)罐壁上的氣泡或附著物所帶來的挑戰(zhàn)。
KQ10系列連續(xù)性監(jiān)控液位傳感器：
●安裝在非金屬儲(chǔ)罐外壁，即可進(jìn)行料位監(jiān)測(cè)
●配備清晰可見的LED，百分比顯示輕松掌握液位變化
●提供三個(gè)點(diǎn)料位監(jiān)測(cè)位置，可靠區(qū)分空載，滿載和溢流狀態(tài)
KI60系列電容式接近開關(guān)：
●可在介質(zhì)內(nèi)或介質(zhì)外運(yùn)行
●可透過非金屬儲(chǔ)罐壁進(jìn)行檢測(cè)，抑制沉積物的影響
●采用IO-Link技術(shù)，將點(diǎn)液位檢測(cè)系統(tǒng)升級(jí)為實(shí)時(shí)液位狀態(tài)監(jiān)測(cè)
通過持續(xù)監(jiān)測(cè)泵的健康狀況進(jìn)行預(yù)測(cè)性維護(hù)，提高設(shè)備可用性
在半導(dǎo)體制造過程中，真空是半導(dǎo)體生產(chǎn)中各個(gè)工序廣泛使用的支持系統(tǒng)。擴(kuò)散、沉積和蝕刻等許多工藝都是在受控環(huán)境中進(jìn)行，而干式真空泵對(duì)于創(chuàng)建和保持無菌環(huán)境至關(guān)重要。
01基于振動(dòng)監(jiān)測(cè)的預(yù)測(cè)性維護(hù)
ifm 振動(dòng)傳感器可監(jiān)測(cè)泵的健康狀況，防止增壓泵和干泵發(fā)生災(zāi)難性故障，導(dǎo)致長(zhǎng)時(shí)間的可用性損失。振動(dòng)系統(tǒng)可同時(shí)監(jiān)測(cè)五個(gè)方面的機(jī)器問題：沖擊、疲勞、摩擦、嚴(yán)重程度和溫度。它們還能監(jiān)測(cè)滾動(dòng)軸承等特定機(jī)器部件，實(shí)時(shí)監(jiān)控這些數(shù)據(jù)使傳感器能夠檢測(cè)到即將發(fā)生的故障，減少計(jì)劃外停機(jī)時(shí)間。ifm的VSA振動(dòng)傳感器和VSE振動(dòng)分析模塊，能為真空泵的故障診斷提供數(shù)據(jù)支持，在其效率低下時(shí)發(fā)出警示，實(shí)現(xiàn)能源優(yōu)化。
02通過持續(xù)監(jiān)測(cè)流量確保適當(dāng)?shù)睦鋮s效果
冷卻水用于散發(fā)泵內(nèi)壓縮過程中產(chǎn)生的熱量。冷卻工藝對(duì)于保持泵的壽命和效率也不可小覷。傳統(tǒng)的機(jī)械式流量計(jì)會(huì)隨著時(shí)間的推移而損壞或卡住。ifm的SU 超聲波流量計(jì)提供高精度測(cè)量，無任何機(jī)械部件或障礙物，從而能最大限度地減少壓降。
03通過連續(xù)測(cè)量溫度保持泵的功能
泵的外殼溫度升高表明摩擦增加，這也可能會(huì)導(dǎo)致泵故障。使用TP+TS分體式測(cè)溫方案對(duì)泵體表面溫度進(jìn)行監(jiān)測(cè)，對(duì)于保持泵的健康狀態(tài)，避免代價(jià)高昂的停機(jī)時(shí)間至關(guān)重要。
通過IO-Link，可將傳感器采集到的所有數(shù)據(jù)發(fā)送到本地部署的更高層級(jí)軟件系統(tǒng)，以便進(jìn)行趨勢(shì)預(yù)測(cè)和分析，工廠可以使用該實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)來實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)設(shè)備健康狀況。
超純水系統(tǒng)
01通過電導(dǎo)率測(cè)量確保水質(zhì)
在半導(dǎo)體等眾多行業(yè)中，超純水系統(tǒng)的完整性非常關(guān)鍵，因?yàn)榧词故俏⑿〉碾s質(zhì)也會(huì)導(dǎo)致重大的生產(chǎn)損失，導(dǎo)致數(shù)百小時(shí)的半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)無效。水的電導(dǎo)率是反映其純度的重要標(biāo)志。ifm的LDL電導(dǎo)率傳感器就是一種高性價(jià)比解決方案，它能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)水質(zhì)，指導(dǎo)凈化工藝的調(diào)整，確保供水系統(tǒng)的穩(wěn)定和高效運(yùn)行。它可檢測(cè)水中低至0.04μS/cm的電導(dǎo)率，持續(xù)控制制水過程質(zhì)量。
02超純水出水管 | 產(chǎn)出流量監(jiān)測(cè)
通過準(zhǔn)確監(jiān)測(cè)對(duì)各種機(jī)器的超純水供應(yīng)，可以確保工藝的一致性和產(chǎn)品質(zhì)量。SU Puresonic超聲波流量傳感器采用超聲波技術(shù)，可精確測(cè)量高達(dá)1000L/min的超純水或水的流量，集成溫度測(cè)量功能，它提供高度準(zhǔn)確的在線測(cè)量過程，可消除壁厚和管道材料變化的任何影響。
03通過高準(zhǔn)確度液位測(cè)量改善水的分配
保持精確的水位可以防止儲(chǔ)存和分配期間發(fā)生污染。液位監(jiān)測(cè)可以確保資源的可用性、防止干轉(zhuǎn)并優(yōu)化水的利用率，所有這些對(duì)制造過程中的資源節(jié)約至關(guān)重要。機(jī)械式浮動(dòng)開關(guān)會(huì)被卡住，導(dǎo)致錯(cuò)誤的液位指示，造成超純水處理系統(tǒng)過早關(guān)閉。ifm的LW非接觸式雷達(dá)液位傳感器沒有任何運(yùn)動(dòng)部件，可安裝在產(chǎn)品儲(chǔ)罐的外側(cè)，避免與金屬部件接觸并確保產(chǎn)品質(zhì)量。80 GHz測(cè)量技術(shù)可以對(duì)所有高達(dá)10 米的儲(chǔ)罐進(jìn)行高精度測(cè)量（± 2 mm），減少體積計(jì)算的誤差。
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