引語:即刻探索科爾摩根直驅(qū)技術,如何助力大幅面OLED面板檢測設備實現(xiàn)精度提升。
隨著顯示技術的不斷進步,具備色域光、輕薄、可控、可折疊等優(yōu)勢的OLED技術逐步成熟,成本快速下降,成為顯示行業(yè)的主流選擇。如今在顯示面板領域,OLED穩(wěn)居第三代顯示面板的主導地位。為了適應不斷提高的市場需求,與之相關的生產(chǎn)制造和檢測技術也急需突破技術瓶頸實現(xiàn)技術升級。以OLED面板生產(chǎn)流程中重要的缺陷檢測設備為例,也迎來了前所未有的發(fā)展機遇和挑戰(zhàn)。
設備應用簡介
X/Y驅(qū)動軸龍門是OLED缺陷檢測設備精密運動平臺的經(jīng)典結構(如下圖),它以運動平穩(wěn),剛性強、空間布局合理、穩(wěn)定可靠而廣泛應用于精密定位運動場合。該平臺的一般性能指標為各軸重復定位精度為1um,定位精度2um以內(nèi),在合理加速度范圍內(nèi)各軸的定位精度1um完成的整定時間在100ms以內(nèi)。在實際設備配置中,光柵尺分辨率為0.1um,補償后X軸何Y軸的定位精度均為2um以內(nèi),Y軸的定位精度為2 um以內(nèi)。受限于檢測定位精度,OLED面板的良品率通常較低。
X/Y驅(qū)動軸龍門
應用挑戰(zhàn)
為了解決OLED面板良品率低這一現(xiàn)狀,應用于OLED缺陷檢測的AOI(自動光學檢測)技術的高速圖像檢測能力得到了快速的發(fā)展。然而,AOI檢測技術除高速圖像檢測算法外,運動平臺快速定位的穩(wěn)定性及精度也是影響其性能的關鍵點。目前檢測設備的運動平臺在快速定位的穩(wěn)定性及精度方面,還遠無法達到理想水平。因此,檢測設備制造商急需尋找到出色的運動控制解決方案,對OLED缺陷檢測設備的快速精密定位平臺進行升級改造,設計和搭建一套精密運動平臺系統(tǒng)。
科爾摩根直驅(qū)技術解決方案
客戶經(jīng)過多方對比選擇,最終選擇科爾摩根DDR力矩電機搭配IL及IC直線電機的直驅(qū)技術解決方案,對OLED缺陷檢測設備的精密運動平臺進行升級改造。
方案優(yōu)勢
高效運控,穩(wěn)定可靠
X軸的負載通常在5-10kg以內(nèi),針對X的應用需求,科爾摩根運動控制專家為其選配了高動態(tài)響應的IL無鐵芯直線電機,驅(qū)動X軸在相機曝光檢測過程中進行高頻的掃描運動,執(zhí)行頻率可達30Hz到40Hz之間。
Y軸由于橫梁負載重,執(zhí)行頻率要求相對平緩,所以選用了科爾摩根IC有鐵芯直線電機。在苛刻的節(jié)拍運行環(huán)境下,IC有鐵芯直線電機依然能保持穩(wěn)定的定位精度及平緩的溫升寬度(30°C以內(nèi)),并且在滿足客戶動態(tài)跟隨誤差8um精度的條件下,整定時間可達到10ms以內(nèi)。
精準定位,性能出色
除了直線電機以外,DDR力矩電機在OLED檢測設備上也表現(xiàn)優(yōu)異。在面板檢測平臺的中心,集成了DDR力矩電機,用于調(diào)整被檢測面板的擺放角度,從而保證了被檢測面板與檢測機構軸的平行度與垂直度,極大地提高了檢測工藝的調(diào)整速度。DDR力矩電機擁有氣浮軸承和4讀頭的高精度光柵尺反饋系統(tǒng),重復定位精度可達到±0.5角秒,定位精度可達±1.5角秒,平臺定位精度顯著提升。
DDR力矩電機在龍門精密運動平臺的應用
客戶收益
通過使用科爾摩根直驅(qū)技術解決方案,對OLED缺陷檢測設備的快速精密定位平臺進行升級改造,大幅度提升了面板檢測平臺的穩(wěn)定性及定位精度,突破了行業(yè)設備的一般性能指標。極大的提升了客戶的市場競爭優(yōu)勢,在新業(yè)務領域獲得快速發(fā)展。
科爾摩根始終堅持以領銜業(yè)界的技術優(yōu)勢,與客戶共同挑戰(zhàn)行業(yè)苛刻的運動控制難題,持續(xù)致力于助力創(chuàng)新者創(chuàng)建更美好世界。